多功能宏观检查模组，为您提供灵活简易的操作控制遥杆，方便您多角度、全视野的对晶圆进行宏观检查。可选配多种光源，方便您在黄光或白光等不同环境中使用。同时可选配宏观检查拍照功能，以便您对宏观瑕疵缺陷存档。

晶圆正面倾斜角度

■ 高速自动预对焦系统(high-speed Pre-focusSystem)

高速预对焦系统，解决您微观检查物镜对焦的困扰，微观图像即刻清晰。预对焦后，可以快速为后续显微镜检查免去漫长的对焦时间。

■ 精密微观检查平台 (Precision Micro InspectionStage)

使用高分辨率的同服系统搭配精密滑台模组，辅助高灵敏度的减震系统，

晶圆背面外围

晶圆背面中心

晶圆左右侧面角度

为您微观检查提供精准定位，达到晶圆MAP定位精度要求

■ 双手臂四轴机械手(DualArm Robot)
设备配备高品质双手臂机械手，快速缩短FOUP内晶圆的取放的时间，安全可靠的将晶圆放置于设备各个工位站点。采用铝镁合金制作的机械手指配置了抗静电硅胶吸盘，可有效保证翘曲晶圆的安全传送。

使用晶圆尺寸

晶圆抓取方式

重复定位精度

手臂数量

200mm /300mm

真空吸附 /边缘夹持

士0.1mm

双手臂